催化燃燒設備是一種類(lèi)似熱氧化的方式來(lái)處理VOC的, 它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過(guò)渡金屬氧化物催化劑來(lái)代替火焰，操作溫度較熱氧化低一半，通常為250 ℃～500 ℃。由于溫度降低，允許使用標準材料來(lái)代替昂貴的特殊材料，大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似，系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類(lèi)熱量回收方式。
間壁式催化燃燒設備（簡(jiǎn)稱(chēng)為T(mén)RO）是在催化床后設一個(gè)換熱器，該換熱器在降低排放氣溫度的同時(shí)，也預熱含VOC的有機廢氣,，其熱回收達60 %～75 %。該類(lèi)氧化器早已用于工業(yè)過(guò)程。
蓄熱催化燃燒設備（簡(jiǎn)稱(chēng)為RCO）是一種新的催化技術(shù)。它具有RTO有效回收能量的特點(diǎn)和催化反應的低溫操作及能量有效性的優(yōu)點(diǎn),，將催化劑置于蓄熱材料的頂部，來(lái)使凈化達到很高。RCO系統性能的關(guān)鍵是使用專(zhuān)用的催化劑，浸漬在鞍狀或是蜂窩狀陶瓷上的貴金屬或過(guò)渡金屬催化劑，允許氧化發(fā)生在RTO系統溫度的一半，既降低了燃料消耗，又降低了設備造價(jià)。 有的地方已經(jīng)開(kāi)始使用RCO技術(shù)進(jìn)行有機廢氣的消除處理，很多RTO設備已開(kāi)始轉變成RCO，這樣可以削減操作費用達33 %～75 % ,并增加排放氣流量達20 %～40 %。
